国家知识产权局信息显示，上海邦芯半导体科技有限公司申请一项名为“一种基于氦气冷却的静电吸盘及等离子体处理设备”的专利，公开号CN122803670A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆处理设备技术领域，尤其涉及一种基于氦气冷却的静电吸盘及等离子体处理设备，包括吸盘、边缘液流道、氦气导道一、中心液流道和氦气导道二，吸盘的上表面与其上承载的晶圆之间构成换热腔；吸盘本体包括中心吸盘、边缘吸盘和隔热环件；边缘液流道和氦气导道一均设于边缘吸盘内；中心液流道和氦气导道二均设于中心吸盘内，且氦气导道二的出气端与换热腔连通将氦气输送至换热腔内；本发明通过设置中心吸盘与边缘吸盘，并在二者之间增设隔热环件，同时为两区域分别配置独立的氦气导道与液冷流道，使晶圆中心区域热量仅经中心吸盘内的氦气传导至中心液流道换热、边缘区域的热量仅经边缘吸盘内的氦气传导至边缘液流道换热。
天眼查资料显示，上海邦芯半导体科技有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本6166.6668万人民币。通过天眼查大数据分析，上海邦芯半导体科技有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目30次，财产线索方面有商标信息22条，专利信息314条，此外企业还拥有行政许可8个。
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作者：情报员
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